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基端部12bの軸線10xを中心とする中央部分には支持部12dが形成される。この支持部12dには、上記軸孔11xに連通する通気口12qが形成される。一方、先端部12cには、軸線10xが通過する中央部分において本体12aの内部に連通する開口部12oが設けられている。この開口部12o内には、上記コレット11の複数のフィンガー部11cと、これらのフィンガー部11cの把持面11gによって把持対象物が把持されることとなる把持空間とが配置される。また、この開口部12oの上記本体12aの内部に臨む開口内縁は、上記コレット11の係止段部11dに対して軸線方向先端側から当接するコレット係止部12rとなっている。

この場合において、前記流体供給手段は圧力調整器を備え、上記制御部は、前記圧力調整器を制御することにより前記流体圧を調整可能に構成されることが好ましい。このとき、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、或いは、前記把持対象物検出手段の少なくとも一つの検出結果に応じて前記流体圧を調整することが望ましい。また、上記制御部は、前記コレット位置検出手段と前記把持態様検出手段の少なくとも一方の検出結果に基づいて、前記ユニット駆動系を制御し、前記ハンドリングユニットの位置又は姿勢を修正することが好ましい。さらに、上記制御部は、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、又は、前記把持対象物検出手段の検出結果に基づいて、前記フィンガー部により把持した前記把持対象物に対する処理内容を複数の選択肢の中から選択することが好ましい。このとき、前記制御部は、選択された前記処理内容に応じて前記流体供給手段と前記ユニット駆動系の少なくとも一方を制御することが望ましい。

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前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を備えたことを特徴とする加工工具用保持具。 前記軸体は、前記環状弾性体に支持される大径胴部を有し、

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《文選·陸云<大將軍宴會被命作>詩》:“玄暉峻朗,翠云崇靄。” 李善 注:“玄,天色也。”

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次に、上記とは別の機能実現手段100Bについて説明する。この機能実現手段100Bは、排気装置又は流体供給源104の圧力調整器P2の圧力値及び開閉弁V2の開閉状態を制御することにより、把持対象物をコレット11により適切な把持状態で把持できるように制御する手段である。なお、排気装置104を用いる場合には、第2実施形態で説明したように、スリット11s内に変形可能なシール材を配置して、コレット11の軸孔11x内の圧力が低下しやすくなるように構成することが好ましい。この排気装置104を用いる場合には、例えば、制御部101の制御下のユニット駆動系の作動によってハンドリングユニット10が把持対象物Pに近づいたとき、把持動作前に、制御部101の制御信号Rv2により開閉弁V2を開弁して、通気口12qを介して軸孔11xの内部の排気を開始する。これにより、コレット11の先端の複数のフィンガー部11cの間の開口領域に吸引力が生じるため、把持対象物が複数のフィンガー部11cの間に吸引されることにより把持面11gの間の把持位置に導かれる。この場合、上記吸引力によって把持対象物が開口領域内に容易に導かれるように、フィンガー部11cの先端の把持位置の側の角部(図示例では内側角部)にテーパー状のガイド部を設けることが好ましい。

特開平11-281649号公報 実用新案登録第2605038号公報 特許文献1に記載の蓋把持装置では、コレットチャックとこれを駆動するソレノイドが軸方向に配列されるため、把持部と駆動系の一体性が低いために全体が大型化するという問題がある。また、コレットチャックを軸方向に作動させることで把持動作を行うため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題もある。

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